國(guó)內(nèi)聲表面波技術(shù)的研究始于1970年,僅比西方晚了三年。除了中國(guó)科學(xué)院和大學(xué),許多晶體振蕩器制造商也開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)表面聲波器件。自70年代末實(shí)際應(yīng)用以來(lái),聲表面波器件已廣泛應(yīng)用于軍事和民用領(lǐng)域。一般來(lái)說(shuō),聲表面波信號(hào)處理裝置主要用于軍事領(lǐng)域,而頻率選擇和頻率控制聲表面波裝置和聲表面波傳感器是軍民通用的設(shè)備。
頻率f=1/t,單位時(shí)間內(nèi)的振動(dòng)次數(shù),單位為赫茲。r=v/f,因此頻率越高,波長(zhǎng)越短,反映在該過(guò)程中,即頻率越高,IDT準(zhǔn)則越薄,目前我們可以實(shí)現(xiàn)1.8 GHz的頻率,線寬約0.6靘。
2。聲表面波聲表面波濾波器是在壓電材料表面產(chǎn)生和傳播的一種彈性波,其振幅隨材料厚度的增加而迅速減小。
十九世紀(jì)八十年代,英國(guó)物理學(xué)家瑞利在研究地震波的過(guò)程中,偶然發(fā)現(xiàn)了一種能量集中在地球表面的聲波。通過(guò)對(duì)地震波的研究,從理論上闡明了各向同性固體表面彈性波的特征。從而發(fā)現(xiàn)了聲表面波。
十九世紀(jì)八十年代,英國(guó)物理學(xué)家瑞利在地震波研究中偶然發(fā)現(xiàn)了一種能量集中在地表的聲波。通過(guò)對(duì)地震波的研究,從理論上闡明了各向同性固體表面上彈性波的特性,發(fā)現(xiàn)了聲表面波(SAW)。本文簡(jiǎn)要介紹了壓電晶體SAF的發(fā)現(xiàn)和發(fā)展歷史。20世紀(jì)80年代,英國(guó)物理學(xué)家瑞利在地震波研究中偶然發(fā)現(xiàn)了一種能量集中在地表的聲波。通過(guò)對(duì)地震波的研究,從理論上闡明了各向同性固體表面彈性波的特征。發(fā)現(xiàn)了聲表面波。
1965年,White和Woltmer發(fā)表了一篇題為“新型表面波聲電換能器”的論文,這是表面波技術(shù)的一個(gè)重大突破。金屬交指換能器IDT(Inter-Digital Transducer)的發(fā)明,可以激發(fā)壓電材料表面聲波,大大加速了表面聲波技術(shù)的發(fā)展。表面聲波(SAW)器件以其獨(dú)特的性能應(yīng)運(yùn)而生,使這個(gè)年輕的課題逐漸發(fā)展成為聲學(xué)與電子學(xué)相結(jié)合的前沿課題。
早在1949年,貝爾電話實(shí)驗(yàn)室就發(fā)現(xiàn)了Linbo_3單晶。1964年,發(fā)表了一項(xiàng)彈性面波激勵(lì)平面結(jié)構(gòu)傳感器專利。